ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DA-20D

販売価格（税抜）：73,150円
販売価格（税込）：80,465円

ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DA-20D

商品コード:111-47701

販売価格（税込）：80,465円
販売価格（税抜）：73,150円

 

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※ 納期表示は目安となります。
在庫数は平日営業日の9:00、13:00、17:00を目安に更新しています。実在庫数と相違する場合があります。
　【特長】
●クリーンな真空が得られるダイアフラム型（半導体製造などにおけるクリーンルーム内での使用については使用条件をお問い合せください）
●低騒音・低振動：他の方式に比べ低騒音・低振動を実現。

【仕様】
●型式：DA-20D
●排気速度：50Hz 20L/min、60Hz 24L/min
●到達圧力：5.3×10^3Pa　（アンローダーバルブ付）9.3×101Pa
●電源：1φ100V（50/60Hz）
●質量(kg)：7.2
●吸気管径(0.0φ×I.Dφ）：9.0×5.0
●最大寸法（W×L×Hmm)：118.0×236.0×184.0

【用途】
●真空チャック、ウエハー吸着搬送、フィルム吸着
●自動機械用、放送機械用、光学機械用
●真空ピンセット、医療機器用、印刷機械用

※サーマルプロテクター(内蔵)
※アンローダーバルブ(内蔵)
※アンローダーバルブ(オプション)

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ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DA-20D ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DA-20D 　【特長】
●クリーンな真空が得られるダイアフラム型（半導体製造などにおけるクリーンルーム内での使用については使用条件をお問い合せください）
●低騒音・低振動：他の方式に比べ低騒音・低振動を実現。

【仕様】
●型式：DA-20D
●排気速度：50Hz 20L/min、60Hz 24L/min
●到達圧力：5.3×10^3Pa　（アンローダーバルブ付）9.3×101Pa
●電源：1φ100V（50/60Hz）
●質量(kg)：7.2
●吸気管径(0.0φ×I.Dφ）：9.0×5.0
●最大寸法（W×L×Hmm)：118.0×236.0×184.0

【用途】
●真空チャック、ウエハー吸着搬送、フィルム吸着
●自動機械用、放送機械用、光学機械用
●真空ピンセット、医療機器用、印刷機械用

※サーマルプロテクター(内蔵)
※アンローダーバルブ(内蔵)
※アンローダーバルブ(オプション) 111-47701 アルバック
73150.0