ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DA-241S

販売価格(税抜):196,650円
販売価格(税込):216,315円

ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DA-241S

商品コード:111-47710

販売価格(税込):216,315円
販売価格(税抜):196,650円

 

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※ 納期表示は目安となります。
在庫数は平日営業日の9:00、13:00、17:00を目安に更新しています。実在庫数と相違する場合があります。
 【特長】
●クリーンな真空が得られるダイアフラム型(半導体製造などにおけるクリーンルーム内での使用については使用条件をお問い合せください)
●低騒音・低振動:他の方式に比べ低騒音・低振動を実現。

【仕様】
●型式:DA-241S
●排気速度:50Hz 240L/min、60Hz 260L/min
●到達圧力:16.0×10^3Pa
●電源:1φ100V(50/60Hz)
●質量(kg):26
●吸気管径(0.0φ×I.Dφ):16.0×12.0
●最大寸法(W×L×Hmm):180.0×411.0×285.0

【用途】
●真空チャック、ウエハー吸着搬送、フィルム吸着
●自動機械用、放送機械用、光学機械用
●真空ピンセット、医療機器用、印刷機械用

※サーマルプロテクター(内蔵)

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ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DA-241S ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DA-241S  【特長】
●クリーンな真空が得られるダイアフラム型(半導体製造などにおけるクリーンルーム内での使用については使用条件をお問い合せください)
●低騒音・低振動:他の方式に比べ低騒音・低振動を実現。

【仕様】
●型式:DA-241S
●排気速度:50Hz 240L/min、60Hz 260L/min
●到達圧力:16.0×10^3Pa
●電源:1φ100V(50/60Hz)
●質量(kg):26
●吸気管径(0.0φ×I.Dφ):16.0×12.0
●最大寸法(W×L×Hmm):180.0×411.0×285.0

【用途】
●真空チャック、ウエハー吸着搬送、フィルム吸着
●自動機械用、放送機械用、光学機械用
●真空ピンセット、医療機器用、印刷機械用

※サーマルプロテクター(内蔵)
111-47710 アルバック
196650.0