真空仕様 精密型自動ステージVSGSP-120YAW

販売価格（税抜）：494,000円
販売価格（税込）：543,400円

真空仕様 精密型自動ステージVSGSP-120YAW

商品コード:119-0161828

販売価格（税込）：543,400円
販売価格（税抜）：494,000円

 

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　【特長】
●真空環境に対応した自動回転ステージです。
●φ60mmの省スペースに対応した小型タイプは、実験用、検査装置のチャンバー内でのご使用に最適です。
●φ120mmは、真空環境に対応したリミットセンサを搭載しました。亜ｖ薄型でありながら、□42mmの大型モーターを採用しているため、高耐荷重を実現します。

【仕様】
●回転範囲：反時計周りCCW方向は∞時計周りCW方向は0度付近（−2.5°）で停止
●テーブル面サイズ（mm） ：φ120
●移動機構：ウォーム ウォームホイール
●移動ガイド：クロスローラ
●ステージ材質：アルミ・ステンレス
●表面処理：無
●質量（kg）：1.7
●分解能（Full）：0.005°/パルス
●分解能（Half）：0.0025°/パルス
●最小応答分解能（参考）：0.5mdeg
●MAXスピード：20°/sec
●繰り返し位置決め精度：0.02°
●耐荷重：98N（10.0kgf）
●ロストモーション：0.05°
●センサ種類：GN-STM35A-1（㈱メトロール）
●リミットセンサ：真空タッチセンサ（NORMAL OPEN）
●原点センサ：無
●近接原点センサ：無

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真空仕様 精密型自動ステージVSGSP-120YAW 真空仕様 精密型自動ステージVSGSP-120YAW 　【特長】
●真空環境に対応した自動回転ステージです。
●φ60mmの省スペースに対応した小型タイプは、実験用、検査装置のチャンバー内でのご使用に最適です。
●φ120mmは、真空環境に対応したリミットセンサを搭載しました。亜ｖ薄型でありながら、□42mmの大型モーターを採用しているため、高耐荷重を実現します。

【仕様】
●回転範囲：反時計周りCCW方向は∞時計周りCW方向は0度付近（−2.5°）で停止
●テーブル面サイズ（mm） ：φ120
●移動機構：ウォーム ウォームホイール
●移動ガイド：クロスローラ
●ステージ材質：アルミ・ステンレス
●表面処理：無
●質量（kg）：1.7
●分解能（Full）：0.005°/パルス
●分解能（Half）：0.0025°/パルス
●最小応答分解能（参考）：0.5mdeg
●MAXスピード：20°/sec
●繰り返し位置決め精度：0.02°
●耐荷重：98N（10.0kgf）
●ロストモーション：0.05°
●センサ種類：GN-STM35A-1（㈱メトロール）
●リミットセンサ：真空タッチセンサ（NORMAL OPEN）
●原点センサ：無
●近接原点センサ：無 119-0161828 シグマ光機
494000.0