真空仕様 精密型自動ステージVSGSP-60YAW

販売価格（税抜）：456,000円
販売価格（税込）：501,600円

真空仕様 精密型自動ステージVSGSP-60YAW

商品コード:119-0161829

販売価格（税込）：501,600円
販売価格（税抜）：456,000円

 

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　【特長】
●真空環境に対応した自動回転ステージです。
●φ60mmの省スペースに対応した小型タイプは、実験用、検査装置のチャンバー内でのご使用に最適です。
●φ120mmは、真空環境に対応したリミットセンサを搭載しました。
●薄型でありながら、□42mmの大型モーターを採用しているため、高耐荷重を実現します。

【仕様】
●回転範囲：CW、CCW方向∞
●テーブル面サイズ（mm）：φ60
●移動機構：ウォーム ウォームホイール
●移動ガイド：ベアリング方式
●ステージ材質：アルミ
●表面処理：無
●質量：0.45kg
●分解能（Full）：0.005°/パルス
●分解能（Half）：0.0025°/パルス
●最小応答分解能（参考）：0.5mdeg
●MAXスピード：20°/sec
●繰り返し位置決め精度：0.02°
●耐荷重（N）：29.4（3.0kgf）
●ロストモーション：0.05°
●センサ種類：無
●リミットセンサ：無
●原点センサ：無
●近接原点センサ：無

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真空仕様 精密型自動ステージVSGSP-60YAW 真空仕様 精密型自動ステージVSGSP-60YAW 　【特長】
●真空環境に対応した自動回転ステージです。
●φ60mmの省スペースに対応した小型タイプは、実験用、検査装置のチャンバー内でのご使用に最適です。
●φ120mmは、真空環境に対応したリミットセンサを搭載しました。
●薄型でありながら、□42mmの大型モーターを採用しているため、高耐荷重を実現します。

【仕様】
●回転範囲：CW、CCW方向∞
●テーブル面サイズ（mm）：φ60
●移動機構：ウォーム ウォームホイール
●移動ガイド：ベアリング方式
●ステージ材質：アルミ
●表面処理：無
●質量：0.45kg
●分解能（Full）：0.005°/パルス
●分解能（Half）：0.0025°/パルス
●最小応答分解能（参考）：0.5mdeg
●MAXスピード：20°/sec
●繰り返し位置決め精度：0.02°
●耐荷重（N）：29.4（3.0kgf）
●ロストモーション：0.05°
●センサ種類：無
●リミットセンサ：無
●原点センサ：無
●近接原点センサ：無 119-0161829 シグマ光機
456000.0