【特長】
●ピエゾドライバを1軸/3軸分内蔵したコントローラです。
●SFSコントローラは、品番末尾(**)を指定することで電圧を設定することができます。
●品番末尾(CL):AC100V仕様、(UL):AC120V仕様、(CE):AC230V仕様◦各軸にデジタルセンサ入力を備え、ピエゾ特有のヒステリシス曲線を補正し、クローズドループ制御を可能にします。
●FINE-503(**)はRS232C、GP-IBまたはUSBインターフェイスを介して接続し、パソコンから簡単な命令を送ることでファインステージを制御することができます。
●FINE-01γ(**)はRS232CまたはUSBインターフェイスを介したPC制御のほか、アナログ信号入力に同期した高速制御が可能です。
【仕様】
●コントローラ機能(主要機能):〇
●制御軸数(主要機能):FINE-01γ(**) 1軸FINE-503(**) 3軸
●内蔵プログラム制御(主要機能):〇
●フィードバック制御(主要機能):デジタルセンサ
●電源電圧(一般仕様):品番末尾:(CL)AC100V±10% (UL) AC120V±10% (CE) AC230V±10% 50/60Hz
●消費電力(一般仕様):50VA
●動作温度(一般仕様):10~30℃
●保存温度(一般仕様):-20~60℃
●周囲湿度(一般仕様):20~80%RH(結露なきこと)
●質量(一般仕様):FINE-01γ(**) 3、5kgFINE-503(**) 5.3kg
●座標表示範囲(性能仕様):±999,999nm
●最大設定移動量(性能仕様):±999,999nm