【特長】
●位置決め動作→ 計測・制御→ 位置決め動作→ 計測・制御…という様な制御が簡単に実現できます。
●手動または時系列での計測、回数指定による計測など、多彩な機能が利用できます。
●Excelシートに指示ファイルを作成することにより、ステージの制御と計測器での計測が同時に行えます。
●測定結果はExcelシート上に展開されるので、測定後の解析や測定データの管理等が容易です。
●設定した内容は「*.SGS」ファイルとして保存が可能ですので、同じ処理の再設定が容易です。
●当社製自動位置決め装置と組み合わせて、計測・制御システムの構築が容易です。
●RS232C※1/GP-IB※2/USB※3インターフェイスをサポートしています。