【特長】
●ラバーシールを採用することで低価格を実現
●流量制度は±1.0%F.S.を保証
●10SCCM~50SLM(5000SCCM)まで対応
●オプションでバリアブルレンジ(VR)機能を選択することで、(基準流量)÷(使用するF.S.流量)×(コンバージョンファクタ)で求めた値を3桁のロータリスイッチに入力して、ガス種、F.S.流量を変更可能
●バリアブルレンジ(VR)機能により、1台で複数の仕様に対応することで、予備品の削減が可能
●オプションでRS-485通信機能を選択することで、デイジーチェーン接続で最大32台のマスフローコントローラの接続が可能
●リンテック独自の周囲温度補償方式流量センサを搭載
●高速、高性能なソレノイドアクチュエータを採用
●金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安心した動作
【仕様】
●型式名:MC-11RC
●流量(N2換算):~50SLM
●流量制御範囲:2~100%F.S.
●バルブ動作:ノーマリクローズ
●精度:±1.0%F.S.
●再現性:±0.2%F.S.
●応答時間:1sec
●アナログ流量設定信号:0.1~5VDC
●アナログ流量出力信号:0~5VDC
●必要差圧:200~300kPa
●耐圧:1MPa(G)
●使用保証温度:15~35℃ 0~80% RH
●リークレート:1×10^-8Pa・/sec He
●接ガス部材質:SUS316L,磁性ステンレス,PTFE
●シール材:バイトン(R)
●所要電源:+15VDC 100mA, -15VDC 200mA
●取付姿勢:自由
●アナログコネクタ:Dsub 9pin
●バルブ方式:ソレイドアクチュエータ
●重量(kg):1.2